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膜厚標(biāo)準(zhǔn)片
描述:

膜厚標(biāo)準(zhǔn)片是一種經(jīng)過(guò)精密制備的參考標(biāo)準(zhǔn)件,其核心特征是具有已知且精確的薄膜厚度值。它通過(guò)在一個(gè)平整基片上制造出帶有薄膜與無(wú)薄膜的“臺(tái)階"結(jié)構(gòu),為各種膜厚測(cè)量?jī)x器提供一個(gè)高度準(zhǔn)確的可溯源基準(zhǔn),專門用于儀器的校準(zhǔn)、驗(yàn)證和測(cè)量精度的保證,是薄膜沉積和檢測(cè)領(lǐng)域中進(jìn)行量值傳遞與質(zhì)量控制的關(guān)鍵計(jì)量工具。

  • 產(chǎn)品型號(hào):Ag/xx10uinch
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2025-11-14
  • 訪問(wèn)量:2869
產(chǎn)品詳情/ PRODUCT DETAIL

標(biāo)題:膜厚標(biāo)準(zhǔn)片

產(chǎn)品概述

  膜厚標(biāo)準(zhǔn)片是一種用于校準(zhǔn)或檢驗(yàn)?zāi)ず駜x測(cè)量精度的標(biāo)準(zhǔn)樣品,通常由一片金屬或塑料制成,上面具有不同厚度的涂層。
 
  Calmetrics是美國(guó)原廠制作標(biāo)準(zhǔn)片的專業(yè)認(rèn)證公司,其生產(chǎn)的標(biāo)準(zhǔn)片質(zhì)量精良,精度高、穩(wěn)定性好。測(cè)厚儀標(biāo)準(zhǔn)片又名膜厚儀校準(zhǔn)片,專業(yè)用于X射線測(cè)厚儀(膜厚儀)在測(cè)金屬鍍層厚度時(shí)進(jìn)行的標(biāo)準(zhǔn)化校準(zhǔn)及建立測(cè)試檔案。也就是我們?cè)谀ず駵y(cè)試中常用的標(biāo)準(zhǔn)曲線法,是測(cè)量已知厚度或組成的標(biāo)準(zhǔn)樣品,根據(jù)熒光X-射線的能量強(qiáng)度及相應(yīng)鍍層厚度的對(duì)應(yīng)關(guān)系,來(lái)得到標(biāo)準(zhǔn)曲線。之后以此標(biāo)準(zhǔn)曲線來(lái)測(cè)量未知樣品,以得到鍍層厚度或組成比率。對(duì)于PCB、五金電鍍和半導(dǎo)體等行業(yè)使用測(cè)厚儀來(lái)檢測(cè)品質(zhì)和控制成本起到了很重要的作用。標(biāo)準(zhǔn)片分單層標(biāo)準(zhǔn)片、雙層標(biāo)準(zhǔn)片、多層標(biāo)準(zhǔn)片,其中單層標(biāo)準(zhǔn)片又可分為單元素標(biāo)準(zhǔn)片、單元素薄片鍍?cè)诘撞纳?、純?cè)氐撞臉?biāo)準(zhǔn)片、合金薄片、合金鍍?cè)诘撞纳系?,各種規(guī)格搭配,可根據(jù)客戶個(gè)性化需要定制。所有標(biāo)準(zhǔn)片都附有NIST認(rèn)證證書我們可以根據(jù)客戶不同的金屬元素、鍍層結(jié)構(gòu)及鍍層厚度等要求向美國(guó)工廠定做合格的標(biāo)準(zhǔn)片,并附有標(biāo)準(zhǔn)片厚度值證書。
 
  膜厚標(biāo)準(zhǔn)片-銀Ag/xx單鍍層標(biāo)樣的其他一些常用規(guī)格厚度:
 
  關(guān)鍵特性與技術(shù)要求:
 
  1.標(biāo)準(zhǔn)厚度值:
 
  這是標(biāo)準(zhǔn)片最核心的參數(shù)。其厚度值是通過(guò)更高級(jí)別的測(cè)量方法精確測(cè)定并給予認(rèn)證的,通常附帶一個(gè)不確定度。
 
  2.可溯源性:
 
  高質(zhì)量的標(biāo)準(zhǔn)片其量值可以溯源至國(guó)家或國(guó)際計(jì)量機(jī)構(gòu),如中國(guó)的中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院(NIM)、美國(guó)的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究院(NIST) 等。
 
  3.基材與膜層:
 
  基材:通常是硅片、玻璃、石英、金屬片等,要求表面非常平整、潔凈。
 
  膜層:常見的膜層有SiO?(二氧化硅)、Si?N?(氮化硅)、光刻膠、金屬(如Cr, Au, Al, Cu)等。用戶應(yīng)根據(jù)自身被測(cè)薄膜的材料和厚度范圍來(lái)選擇相近的標(biāo)準(zhǔn)片。
 
  4.臺(tái)階結(jié)構(gòu):
 
  絕大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)片都采用“臺(tái)階”結(jié)構(gòu)。即一部分區(qū)域有薄膜,相鄰區(qū)域沒(méi)有薄膜(通過(guò)刻蝕等方式去除),從而形成一個(gè)精確的高度差。這個(gè)高度差就是標(biāo)準(zhǔn)的膜厚值。測(cè)量?jī)x器通過(guò)掃描這個(gè)臺(tái)階來(lái)得到厚度讀數(shù)。
 
       主要用途包括以下幾個(gè)方面:
 
  1、校準(zhǔn)膜厚儀的測(cè)量精度:能夠提供一組已知的薄膜厚度值,通過(guò)與膜厚儀測(cè)量結(jié)果的比對(duì),可以校準(zhǔn)膜厚儀的測(cè)量精度。
 
  2、檢驗(yàn)薄膜厚度的一致性:膜厚標(biāo)準(zhǔn)片可用于檢驗(yàn)薄膜加工過(guò)程中不同批次或不同工藝條件下的薄膜厚度的一致性。通過(guò)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)片與實(shí)際薄膜的厚度差異,可以評(píng)估加工過(guò)程的穩(wěn)定性和可重復(fù)性。
 
  3、評(píng)估薄膜加工工藝的性能:還可以用于評(píng)估不同薄膜加工工藝條件下的薄膜性能表現(xiàn)。通過(guò)測(cè)量不同工藝條件下的標(biāo)準(zhǔn)片薄膜厚度,可以評(píng)估加工工藝對(duì)薄膜性能的影響,從而指導(dǎo)工藝的優(yōu)化和改進(jìn)。
 
  4、研究薄膜加工過(guò)程的物理化學(xué)機(jī)制:也可以作為研究薄膜加工過(guò)程物理化學(xué)機(jī)制的一種手段,通過(guò)對(duì)標(biāo)準(zhǔn)片薄膜厚度變化規(guī)律的研究,可以揭示薄膜形成過(guò)程中的物理化學(xué)變化過(guò)程。
 
  5、在制造過(guò)程中,涂層或電鍍必須具有一定的厚度以確保其具有所需的性能。如果涂層或電鍍太薄,可能會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品的質(zhì)量不足,而太厚則浪費(fèi)了材料和金錢。因此,使用膜厚標(biāo)準(zhǔn)片可以幫助檢測(cè)涂層或電鍍的厚度是否符合標(biāo)準(zhǔn),并確保產(chǎn)品的質(zhì)量。
 
  6、在膜厚儀測(cè)試過(guò)程中,膜厚標(biāo)準(zhǔn)片的使用還可以幫助確認(rèn)膜厚儀的工作狀態(tài),防止在膜厚儀故障狀態(tài)下無(wú)法及時(shí)確認(rèn)。它也可以用于X射線測(cè)厚儀在測(cè)金屬鍍層厚度時(shí)的標(biāo)準(zhǔn)化校準(zhǔn)及建立測(cè)量分析檔案。
 
  Calmetrics鍍層標(biāo)準(zhǔn)片適用于各種品牌的X射線測(cè)厚儀(涂鍍層厚度測(cè)試儀)應(yīng)用:適用于Fischer(菲希爾)、Oxford(牛津)、Seiko(精工)ELECFINE(日本電測(cè))、Thermo(熱電)、Veeco、MicroPioneer、Seiko等各廠牌X-ray測(cè)厚儀(膜厚計(jì))。
 

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